Système de revêtement par pulvérisation ultrasonique à vortex haute température 60 kHz

Système de revêtement par pulvérisation à haute température de 60 kHz

Définition:

Notre système de revêtement par pulvérisation ultrasonore à haute température de 60 kHz intègre une buse d'atomisation à ultrasons de 60 kHz avec une structure de refroidissement intégrée.Un transducteur piézoélectrique génère des vibrations à haute fréquence pour transformer les précurseurs liquides en fines microgrippies.Le gaz qui forme des vortex à basse vitesse forme un champ de pulvérisation conique stable sans fort impact sur les substrats.

L'assemblage de refroidissement par buse isole la chaleur de l'étape de chauffage à haute température, qui peut atteindre jusqu'à 500 à 600 °C.Cette conception permet le séchage in situ et la décomposition thermique des solutions de précurseurs directement sur la surface du substrat.

Comparé aux buses de pulvérisation à ultrasons focalisées classiques, le type vortex offre une largeur de pulvérisation efficace plus large et une uniformité de revêtement supérieure.La brume douce réduit considérablement les sursauts et améliore l'utilisation du matériau à plus de 90%Les performances d'auto-nettoyage par ultrasons réduisent au minimum les obstructions des buses pour les suspensions, les sols et les solutions salines.

Équipé d'un module d'alimentation en liquide de précision, d'une unité de commande de gaz indépendante et d'une plateforme de mouvement servo XYZ, le système prend en charge les chemins de revêtement programmables.Il peut déposer des films minces allant de dizaines de nanomètres à des micromètres.

Les applications typiques comprennent les couches de catalyseur de pile à combustible et le revêtement PEM, les cellules solaires de pérovskite, les films TCO et d'oxyde de métal, les MEMS et les revêtements fonctionnels de plaquettes, la fabrication de nano-films de capteurs.

Paramètres:

Les avantages:

1Couverture uniforme avec pulvérisation vortex, largeur effective de pulvérisation plus large en une seule passe
2. conception compatible à haute température. buse avec structure de refroidissement pour soutenir le processus de décomposition thermique du substrat
3Une utilisation des matériaux élevée de plus de 90%, économisant ainsi des solutions de précurseurs coûteuses
4- Autodépuration par ultrasons, faible risque d'obstruction de la buse, compatible avec les suspensions, les sols et les précurseurs de sel
5Neige douce avec faible impact, sans endommagement des substrats poreux ou des films minces préformés
6. contrôle précis de l'épaisseur du film. dépôt multicouche pour produire des films minces à l'échelle nanométrique à micromètre
7. gaz de formation de vortex à basse pression, rebond minimal des gouttelettes et faible surécoulement

Système de revêtement par pulvérisation à haute température de 60 kHz