Couche de pulvérisation d'atomisation par ultrasons scellée sans contact personnalisée avec contrôle des gouttelettes au niveau du micron pour des applications de précision

La pulvérisation par atomisation ultrasonique scellée et sans contact est un équipement de précision conçu pour les salles blanches, les chambres à vide ou les environnements nécessitant une isolation stricte des échantillons. Utilisant des transducteurs ultrasoniques pour une atomisation au niveau micrométrique, il délivre des gouttelettes sur les surfaces cibles par des méthodes sans contact. La chambre d'atomisation scellée empêche la contamination croisée et les influences de l'environnement extérieur, ce qui la rend idéale pour les applications de haute propreté dans les semi-conducteurs, la microélectronique, les films optiques, les produits pharmaceutiques et les biomatériaux.

• Isolation scellée : Chambre d'atomisation complète avec conception scellée prenant en charge l'évacuation et le balayage à l'azote. Comprend des portes à ouverture rapide, des fenêtres visibles et des interfaces à bride scellées (CF/KF ou personnalisées) pour les exigences de salle blanche et de vide.
• Pulvérisation sans contact : L'atomisation ultrasonique crée un flux de brouillard stable guidé vers les surfaces de la pièce par un flux d'air contrôlé ou un champ électrique. Élimine le contact buse-pièce pour éviter les dommages de surface et la contamination croisée.
• Contrôle des gouttelettes au niveau du micron : Transducteurs haute fréquence (100 kHz, 110 kHz, 120 kHz en option) combinés à une alimentation en liquide de précision permettent d'obtenir des particules atomisées au niveau micrométrique, réglables en fonction du solvant et des exigences du processus.
• Fonctionnement sous vide/atmosphère inerte : Prend en charge le fonctionnement de la pression atmosphérique à un vide poussé (10⁻²-10³ Pa, plage personnalisable) avec balayage à l'azote ou à l'argon pour les systèmes de solvants sensibles à l'oxygène ou volatils.
• Alimentation en liquide et contrôle du débit précis : Micro-pompe d'injection avec une plage de débit de µL/min à mL/min. Prend en charge l'alimentation en liquide pulsée ou continue avec détection du niveau de liquide et protection contre le fonctionnement à sec.